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系统采用密闭腔体情性气体循环净化与微正压气密防护原理，构建稳定可控的百级超净操作微环境。系统通过封闭流场实现惰性气体持续循环，经多级高效过滤单元去除颗粒物与外源污染物，配合动态吹扫再生以及气流均衡调控，确保腔内长期维持高洁净度与稳定流场状态。
设备依托全密封结构设计与微正压防护机制，有效阻断外部空气倒灌与交叉污染，为样品传递、暂存及操作提供无干扰、无污染的作业基础。作为通用型洁净主机平台，其模块化架构支持功能单元无缝扩展，可以在线集成专用取样模块，升级为高精度在线取样系统。
在此基础上拓展了集成防金属沾污流路、全自动定量控制、双重校准算法等专用单元，即可形成完整在线金属杂质取样解决方案，在百级洁净环境下实现全流程自动化、无外源污染、高一致性的在线取样作业，满足高端制程对痕量杂质分析的严苛要求。
超高洁净度超凡三重过滤闭环吹扫再生技术精准双重校准系统
