电子特气 | 全自动金属杂质取样系统-百级洁净柜

市场背景

在半导体、显示面板、光伏等高科技产业中，电子特气作为核心原材料，其纯度直接影响产品性能与良率。尤其是重金属元素(如铁、铜、铬等)的微量污染，可能导致器件短路、漏电甚至失效，因此对电子特气中金属杂质的实时、精准、无污染检测成为行业刚需。然而，传统分析方案面临两大核心矛盾：一个是洁净间与生产现场的空间冲突，多数企业虽建有洁净间，但其位置与电子特气使用现场距离较远。为在洁净环境中取样分析，需铺设长达数十米的取样管路，这一操作导致样品损耗严重，长管路残留气体导致首次取样数据失真，需反复冲洗，造成特气浪费；且实时性缺失，远距离传输使分析延迟，无法满足生产过程中的即时质控需求。另外一个经济性与效率的平衡难题，企业若为缩短距离在产线旁增设洁净室，需投入高额建设与维护成本；而传统取样设备因缺乏高效过滤与自动化功能，仍难以避免人为操作污染。

市场亟需一种既能直接部署于生产现场，实现“零距离”取样，又能提供百级洁净环境，确保数据精准可靠，同时降低长期运营成本。为此，我们推出金属杂质全自动取样系统/百级洁净柜MUST C100，致力于为高端制造领域提供低成本、高洁净、实时在线的气体与液体取样解决方案。

产品用途

系统广泛应用于半导体、电子特气、电子级湿化学品、精细化工等行业，直接安装于生产现场，实现全自动封闭式取样。系统通过超高效过滤与智能控制技术，有效避免远距离取样带来的样品损耗、洁净度下降与响应延迟问题，确保取样过程的高纯度与高可靠性。

产品结构

系统由五大核心模块精密构成，通过系统性的协同工作，共同构建并维持了一个稳定的高洁净密封环境与全自动化的取样流程。它们从结构密封、样品传递、空气净化、介质兼容到智能控制各司其职，确保了取样操作的高度可靠性与结果的一致性。

1、箱体结构

箱体主体采用3mm厚的304不锈钢制造，内部为镜面抛光处理。该设计旨在提供一个坚固、密封且易于清洁的封闭环境，能有效防止外部污染物侵入，并为内部所有操作提供稳定的物理基础。

2、过渡舱

系统配备一个独立的不锈钢过渡舱。其核心功能是在不破坏主箱体洁净环境的前提下，实现样品、耗材的安全传入和传出。通过专用的气体吹扫循环程序，能确保物品在传递过程中不被污染。

3、超高效过滤系统

该系统是维持箱内高洁净度的核心。它由循环风机和超高效过滤器组成，能持续对箱内气体进行循环过滤，确保操作区域持续稳定地达到并维持ISO Class 5(百级)的洁净等级。

4、专用取样面板

取样面板集成了全自动控制的阀门和管路。其管路采用高纯PFA等耐腐蚀材料，确保了在与高纯、腐蚀性介质接触时不会引入金属离子污染。面板本身具备极高的气密性，保证了取样过程的密封性和可靠性。

5、智能控制系统

作为整个系统的大脑，该模块集成了压力、流量、重量等传感器的信号输入与处理，并通过触摸屏提供人机交互。它负责执行既定的取样逻辑、监控系统状态、记录关键数据，并可联接到上级管理系统，实现自动化运行与数据追溯。

产品特点

1、超高洁净度

系统内部洁净度严格符合ISO Class 5(百级)标准。该标准通过高效的空气过滤和气流组织来实现，能够有效控制≥0.1μm的微粒浓度，提供一个近乎“零污染”的操作环境，从根本上杜绝了微粒对样品和生产过程的干扰，保障取样结果的真实性与可靠性。

2、三重超高效过滤

系统配备三级串联的超高效过滤单元，对≥0.12μm的颗粒物过滤效率高达99.9999%。这种设计确保了即使在高挑战性环境下，也能实现无死角的持续净化，为高纯样品的处理提供了终极洁净保障，极大降低了交叉污染的风险。

3、闭环吹扫再生技术

系统可将用于吹扫和净化的惰性气体(如氮气)进行动态回收和循环利用。这项技术不仅显著降低了高纯气体的消耗量与运营成本，更重要的是确保了分析腔室和过渡舱能持续获得稳定、洁净的气流环境，维持洁净度的长期稳定。

4、精准双重校准系统

采用高精度重量传感器与质量流量计进行双重测量与校准。重量传感器直接监控样品瓶的质量变化，质量流量计精确控制传输过程中的气体流量，两者数据相互校验，确保了样品转移量的极高精度，并使整个取样过程数据可追溯、结果可验证。

5、全自动耐腐蚀面板

取样面板的核心流体管路均采用高纯PFA材质制造。PFA具有卓越的化学惰性，能够耐受各种强酸、强碱及有机溶剂的腐蚀，并极大限度地减少金属离子溶出，从而保证从系统到样品的全程超洁净，广泛适用于电子化学品等高腐蚀性介质。

6、智能触控交互

设备配备直观的触摸屏人机界面(HMI)，将复杂的操作流程集成于图形化界面中。用户无需专业培训即可快速上手，通过点选和参数设置即可一键启动复杂的全自动取样序列，极大地简化了操作，减少了人为误操作的可能性。

7. 智慧数据联动

控制系统能够实时监控、记录并存储所有关键运行参数与取样数据。这些数据可通过标准的通信接口(如以太网、RS485等)无缝对接工厂的中央控制系统(中控室)，实现数据的自动上传、集中管理与远程监控，满足现代化工厂对数据完整性与追溯性的要求。

8、模块化灵活设计

产品采用标准的模块化架构，其结构、配置和功能均可根据用户的特定需求进行非标定制。它可以轻松适配实验室研发、在线产线或高级别洁净车间等不同场景，并可额外选配防爆、增强耐腐蚀或防辐射等特殊模块，以满足不同行业的专属应用需求。

9、全面安全防护

系统集成了完备的电气与功能安全互锁机制，包括漏电保护、过载保护、异常断电管理与压力超限保护等。这些多重防护措施共同构成了一个全方位的安全体系，确保在任何异常情况下都能优先保障操作人员安全与设备本体安全，实现无忧运行。

技术参数

如需了解更多关于金属杂质全自动取样系统/百级洁净柜MUST C100的信息，或有任何关于应用和技术支持的疑问，欢迎致电我们的客服热线021-34686537，我们将竭诚为您服务。